AlN AlGaN

Application

Modèle

Produit

Paramètre

Agissant comme matériau de base pour les LED -ultraviolets profonds (DUV),

dispositifs d'alimentation, dispositifs RF et autres dispositifs optoélectroniques de pointe.

Plaquette d'AlN

Dimension : 2 pouces (φ50,8 mm ± 0,1 mm)
Substrat : Saphir poli simple/double-face (Al₂O₃)
Plage d'épaisseur : 0,5 μm à 5 μm
Orientation du cristal : plan C- (0001)
Qualité des cristaux : exigences de diffraction des rayons X- (XRD) pleine largeur à mi-largeur (FWHM), correspondant aux plages d'épaisseur d'AlN :
Épaisseur 0.5 - 1 μm : (002) plan FWHM Inférieur ou égal à 120 arcsec ; (102) plan FWHM Inférieur ou égal à 950 arcsec.
Épaisseur 1 - 2 μm : (002) plan FWHM Inférieur ou égal à 120 arcsec ; (102) plan FWHM Inférieur ou égal à 600 arcsec.
Épaisseur 2 - 3 μm : (002) plan FWHM Inférieur ou égal à 150 arcsec ; (102) plan FWHM Inférieur ou égal à 500 arcsec.
Épaisseur 3 - 4 μm : (002) plan FWHM Inférieur ou égal à 180 arcsec ; (102) plan FWHM Inférieur ou égal à 400 arcsec.
Épaisseur 4 - 5 μm : (002) plan FWHM Inférieur ou égal à 180 arcsec ; (102) plan FWHM Inférieur ou égal à 320 arcsec.
Éclats/fissures de bord : moins de 2 mm.
Rugosité de surface : Ra < 1,5 nm sur une zone de 10 × 10 μm (mesurée par AFM).
Emballage : scellé sous vide-dans un environnement de salle blanche de classe 10 000. Conditionné en cassettes de 25 -pièces ou en conteneurs à une seule plaquette.

AlN : surface ultra-lisse

• Faible densité de défauts

• Scellé sous vide-

Plaquette d'AlGaN

Dimension : 2 pouces (φ50,8 mm ±0,1 mm)
Substrat : Saphir poli simple/double-face (Al₂O₃)
Plage d'épaisseur : 5 nm à 3 000 nm
Orientation du cristal : plan C- (0001)
Bandgap Energy : personnalisable en fonction des exigences du client (via le réglage de la composition Al)
Qualité des cristaux : Spécifications de référence (pour 1,5 μm d'AlGaN avec 60 % d'Al) :
(002) plan XRD FWHM Inférieur ou égal à 350 arcsec
(102) plan XRD FWHM Inférieur ou égal à 600 arcsec
Remarque : La qualité spécifique des cristaux (valeurs XRD FWHM) est précisément adaptée en fonction de la composition réelle en Al et de l’épaisseur de la couche.
Éclats/fissures de bord : moins de 2 mm.
Emballage : scellé sous vide-dans un environnement de salle blanche de classe 10 000. Conditionné en cassettes de 25 -pièces ou en conteneurs à une seule plaquette.

AlGaN : bande interdite réglable

• Épaisseur 5 nm–3 µm

• Spécifications XRD personnalisées